◆可適用于6寸、8寸或1 2寸晶圓蝕刻后去膠制程的清洗作業(yè)。

◆工作節(jié)拍: 20-30min。

◆配置11套清洗、干燥腔體。 .

◆可靠的專用工作液體快排裝置，保證高效的工藝切換。

◆內(nèi)置組合式工裝自動輸送裝置，保證復合工藝要求及較高的

生產(chǎn)效率。

◆4套清洗藥液獨立控制裝置。

◆化學液回收儲存裝置。

◆藥液流量[敏感詞]控制系統(tǒng)。

◆N2溫風干燥系統(tǒng)。

◆高效空氣凈化及進排氣裝置。

◆[敏感詞]的清洗效果。

◆自動滅火裝置。